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液壓伺服閥包括：滑閥式伺服閥、噴嘴擋板式伺服閥、射流管式伺服閥。

滑閥式伺服閥：采用動(dòng)圈式力馬達(dá)，結(jié)構(gòu)簡單，功率放大系數(shù)較大，滯環(huán)小和工作行程大；固定節(jié)流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅(qū)動(dòng)力，使滑閥不易卡死，工作可靠。

噴嘴擋板式伺服閥：該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達(dá)在其零點(diǎn)附近工作，即銜鐵偏轉(zhuǎn)角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時(shí)改變滑閥的位移。該伺服閥結(jié)構(gòu)緊湊，外形尺寸小，響應(yīng)快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對油液的清潔度要求較高。

射流管式伺服閥：對油液的清潔度要求較低。缺點(diǎn)是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特性差；力矩馬達(dá)帶動(dòng)射流管，負(fù)載慣量大，響應(yīng)速度低于噴嘴擋板閥。

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